Der neue BGA244 kann schnell, kontinuierlich und nicht-invasiv das Verhältnis zweier Gase bestimmen oder nur die Reinheit eines einzigen Gases überprüfen. Durch genaues Messen der Schallgeschwindigkeit und der Temperatur eines Gases, und dem Wissen über die thermodynamischen Eigenschaften und Molmassen der Komponentengase, kann der BGA244 die Zusammensetzung von Gasgemischen genau ermitteln. Thermodynamische Daten und Daten zur Molmasse wurden für mehr als 250 Gase und Flüssigkeiten tabellarisch festgehalten, so dass das Gerät zur Messung von zehntausenden Gemischen fähig ist. Weitere Gase können den Datentabellen zugefügt werden.
Bei der Gasverhältnismessung liegt die absolute Genauigkeit i.d.R. bei 0,1 %, die relative bei 0,001 %. Nimmt man wie bei der MOCVD ein Trägergas als Referenz, kann die Dotierungskonzentrationsgenauigkeit bei 10 ppm liegen. Der physikalische Messmodus dient der Messung der thermodynamischen Eigenschaften von Gasgemischen. Eine Eingabe von Grenzwerten ist möglich. Durch die Über- oder Unterschreitung von Grenzwerten können Relais gesetzt oder gelöscht werden.
Das BGA244 kann direkt in den Gasfluss installiert werden und deckt den Massebereich von N2 bis SF6 ab. Alle Metalldichtungen, die im BGA244 verwendet werden, gewährleisten Gasreinheit. Das Gerät arbeitet ohne Laser, Filamente, chemische Sensoren, optische Quellen, Trennsäulen, Referenzgase oder Reagenzien und ist daher zuverlässig, kostengünstig zu betreiben und praktisch wartungsfrei.
